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有限元分析方法FEM作為求解數學物理問題的一種數值方法，已經歷了50余年的發展。20世紀50年代，它作為處理固體力學問題的方法出現。1943年，Courant第一次提出單元概念。1945～1955年，Argyris等人在結構矩陣分析方面取得了很大進展。1956年，Turner、Clough等人把剛架位移法的思路推廣應用于彈性力學平面問題。1960年，Clough首先把解決彈性力學平面問題的方法稱為“有限元法”，并描繪為“有限元法=Rayleigh Ritz法+分片函數”。幾乎與此同時，我國數學家馮康也獨立提出了類似方法。
FEM理論研究的重大進展，引起了數學界的高度重視。自20世紀60年代以來，人們加強了對FEM數學基礎的研究。如大型線性方程組和特征值問題的數值方法、離散誤差分析、解的收斂性和穩定性等。
FEM理論研究成果為其應用奠定了基礎，計算機技術的發展為其提供了條件。20世紀70年代以來，相繼出現了一些通用的有限元分析(FEA：Finite Element Analysis)系統，如SAP、ASKA、NASTRAN等，這些FEA系統可進行航空航天領域的結構強度、剛度分析，從而推動了FEM在工程中的實際應用。
20世紀80年代以來，隨著工程工作站的出現和廣泛應用，原來運行于大中型機上的FEA系統得以在其上運行，同時也出現了一批通用的FEA系統，如ANSYS-PC、NISA，SUPERSAP等。20世紀90年代以來，隨著微機性能的顯著提高，大批FEA系統紛紛向微機移植，出現了基于Windows的微機版FEA系統。
經過半個多世紀的發展，FEM已從彈性力學平面問題擴展到空間問題、板殼問題，從靜力問題擴展到動力問題、穩定問題和波動問題;從線性問題擴展到非線性問題，從固體力學領域擴展到流體力學、傳熱學、電磁學等其他連續介質領域，從單一物理場計算擴展到多物理場的耦合計算。它經歷了從低級到高級、從簡單到復雜的發展過程，目前已成為工程計算最有效的方法之一。
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